各届科技奖甄审作业，由本会董事长遴聘权威之专家组成评审委员会，下设「奈米科技」、「通讯光电」及「生技医药」等审查小组，各小组召集人另敦聘多位专家学者参予小组审查工作，历经『同侪审查机制(Peer’s Review System)』过程推荐入围名单至评审委员会，以评选出最终得奖名单，提交董事会确认后公布。